RFC-6000AST 多功能蚀刻清洗机

清洗工艺

入料→KOH 清洗→DI水喷淋快排清洗→HCL清洗→HF 清洗→DI水喷淋快排清洗→热氮干燥一下料

产品介绍

●内置式CDS供液系统,结构紧凑,操作方便。
●无极式液位检测系控,可精准控制配液量。
●在线式氮气加热系统,流量大,提温快。
●氮气干燥槽三层式结构,隔热、辅热、直热三模式组合,可高效且经济地完成产品干燥。
●自研式夹爪型防腐机械手臂,可适用于各类强酸环境同时缩短开盖时间。
●进出料口多重人机交互防呆保护机制,可有效保证操作安全。