产品介绍
●采用全新工艺，可适用于半导体机械芯外围组件除脂除尘的高洁净度清洗。 ●特殊的管道处理工艺，确保设备在各种溶剂下的防腐防漏功能。 ●采用最新的排气系统及隔离方式，保证设备外侧无任何气味挥发的同时减少溶剂的消耗。 ●采用首创的先进的多工位氮气保护热烘干系统，确保工件彻底干燥。 ●采用多重溶剂冷却处理，保证设备的安全使用。 ●采用机械臂与多组独立提升+抛动模组共同组成设备的整体自动化系搬运系统，灵活性高。 ●适应多种不同工艺的清洗要求。
