产品介绍
●适用于清洗4、6、8寸蓝宝石衬底晶片。 ●清洗节拍为3-5MIN，速度快，清洗量大。 ●循环管路会进行特殊内表处理，确保洁净度，降低藏污纳垢风险。 ●配备自清洁循环系统，方便日常维护。 ●设有高洁净度的自动干燥系统。 ●管路系统、电器控制系统、传动关键性核心部件均采用进口标准产品，配置模组化，维护方便快捷。
