清洗工艺
入料→SC-1清洗→QDR清洗→下料
产品介绍
●最大单槽可兼容4个4寸或双6寸卡赛。 ●采用优质石英槽或PP槽，严控金属离子析出风险。 ●槽内设多段式N2液位，实时监控工况，联动保护加热及循环。 ●采用外置式循环加热，加热更均匀，同时对每根加热器设置独立温控保护更安全。 ●进出料口设有气动门，只在进出料时打开，保证内部的密封性，减少外界的污染。 ●采用顶置式旋转机械臂，结构紧凑，洁净度高。
